1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:
相移式光罩及其製造方法
2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:106/06/01
3.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$ 58,600
4.其他應敘明事項:
一種相移式光罩,包括基板、相移層與透明層。相移層設置於基板上,且具有開
口。透明層設置於開口中。上述相移式光罩可具有較大的聚焦深度寬容度。
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