1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:
影像感測元件的光管的製造方法
2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:106/05/01
3.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$ 50,600
4.其他應敘明事項:
一種影像感測元件的光管的製造方法,包括下列步驟。提供基底。基底包括畫素
區與周邊電路區。在基底中已形成有光感測區。光感測區位於畫素區中。在基底
上形成介電層。在介電層中已形成有內連線結構與擋光金屬層。擋光金屬層位於
內連線結構上方,且擋光金屬層具有暴露出光感測區的開口。以擋光金屬層為罩
幕,移除由開口所暴露出的部分介電層,以在介電層中形成光管。
<摘錄公開資訊觀測站>