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公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I550750專利

1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:自動監控膜厚均勻性的方法2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:105/09/213.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$ 41,2004.其他應敘明事項:一種自動監控膜厚均勻性的方法。取得多個晶圓之薄膜的膜厚資料，其中各晶圓的膜厚資料包括在多個量測區域上的多個厚度值，並且同一個晶圓的厚度值設定為一膜厚向量。基於各量測區域所獲得的上述厚度值獲得群均值矩陣。依據群均值矩陣與上述膜厚向量，獲得群共變異矩陣。基於量測區域之間的偏離關係，獲得變換矩陣。利用變換矩陣、群均值矩陣以及群共變異矩陣，獲得偏差範圍。基於偏差範圍來監控各晶圓之薄膜的膜厚均勻性。<摘錄公開資訊觀測站>

2016/9/30【公告本公司取得日本專利局核發JP 5986170專利】
2016/9/29【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I550293專利】
2016/9/29【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I547348專利】
2016/9/29【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I550750專利】
2016/9/29【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I550616專利】
2016/9/29【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I550716專利】
2016/9/29【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I550842專利】
2016/9/29【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I548075專利】
2016/9/29【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I548039專利】
2016/9/29【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I548064專利】
2016/9/29【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I541112專利】
2016/9/29【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I550221專利】
2016/9/29【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I541751專利】
2016/9/29【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I548000專利】

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