1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:
記憶體結構及其製作方法
2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:107/04/21
3.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$ 75,600
4.其他應敘明事項:
一種記憶體結構,包含半導體基底、至少二個淺溝槽隔離、主動區、第一介電層
、浮置閘極、第二介電層以及控制閘極。淺溝槽隔離相鄰設置於半導體基底中。
主動區設置於半導體基底中且位於該等淺溝槽隔離之間。第一介電層設置於主動
區表面。浮置閘極設置於半導體基底上且具有階梯狀側壁,並包含上層部和下層
部,其中上層部寬度小於下層部寬度,下層部橫跨主動區且延伸至淺溝槽隔離上
並部分覆蓋淺溝槽隔離。第二介電層覆蓋浮置閘極。控制閘極設置於第二介電層
上。
<摘錄公開資訊觀測站>