公告本公司取得中華人民共和國國家知識產權局核發 CN 3070168專利
1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:
快閃記憶體及其製造方法
2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:107/09/25
3.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$ 61,022
4.其他應敘明事項:
一種快閃記憶體,包括堆疊閘極結構、第一摻雜區與第二摻雜區、選擇閘極以及
閘介電層。堆疊閘極結構設置於基底上,堆疊閘極結構從基底起依序包括穿隧介
電層、浮置閘極、閘間介電層以及控制閘極。第一摻雜區與第二摻雜區分別設置
於堆疊閘極結構兩側的基底中。選擇閘極設置於堆疊閘極結構下方的基底中的溝
渠內,且選擇閘極鄰近第一摻雜區並與第二摻雜區相距一距離。閘介電層設置於
選擇閘極與基底之間。穿隧介電層設置於浮置閘極與選擇閘極之間以及於浮置閘
極與基底之間。
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