公告本公司取得中華人民共和國國家知識產權局核發 CN 3125727專利
1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:
圖案化方法
2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:107/10/26
3.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$ 65,876
4.其他應敘明事項:
一種圖案化方法。提供材料層。於材料層上形成依序包括第一罩幕層與第一光阻
層的多個罩幕結構。於材料層上共形地形成覆蓋罩幕結構的第二罩幕層。於罩幕
結構間形成第一犧牲層。移除部份第二罩幕層而暴露第一光阻層,以於罩幕結構
間形成第一U型罩幕層。移除第一光阻層與第一犧牲層。於材料層上共形地形成具
有第一表面與低於第一表面的第二表面的第三罩幕層。於第三罩幕層的第二表面上
形成第二犧牲層。移除部份第三罩幕層而暴露第一U型罩幕層的突出部,以形成第
二U型罩幕層。以第二U型罩幕層的突出部為罩幕,對材料層圖案化。
<摘錄公開資訊觀測站>