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公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I639886專利

1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:

光罩及光罩承載平台的維護方法

2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:107/11/01

3.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$ 103,280

4.其他應敘明事項:

本發明提供一種光罩，其可置放於曝光裝置中的光罩承載平台上，此光罩包括一

基板以及一反射結構。基板包括一主表面與至少一側壁，且主表面與側壁相接，

其中主表面包括一圖案區以及一周邊區，周邊區設置於圖案區的一外側。反射結

構至少設置於側壁表面或設置於主表面之周邊區。

<摘錄公開資訊觀測站>

2018/12/28【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I639925專利】
2018/12/28【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I645405專利】
2018/12/28【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I640011專利】
2018/12/28【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I639886專利】
2018/12/28【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I639847專利】
2018/12/28【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I645554專利】
2018/12/28【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I639884專利】
2018/12/28【力晶結盟法商 速效運算晶片將問世】
2018/12/17【幸福縣市首長將現身分享經驗】
2018/12/17【DRAM新需求 靠AI、5G帶動】
2018/11/30【台廠看市況 DRAM相對穩定】
2018/11/28【核電...要整體考量】
2018/11/28【產業大咖看淡短期景氣】
2018/9/28【公告本公司取得美國專利局核發US 10048717專利】
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