1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:
多層王冠型金屬-絕緣體-金屬電容器結構及其製作方法
2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:107/11/06
3.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$ 102,949
4.其他應敘明事項:
一種多層王冠型金屬-絕緣體-金屬電容器結構,包含有一基底,其中設有一導電
區域;一金屬層間介電層,設於基底上;一電容溝渠,貫穿金屬層間介電層,顯
露出導電區域;一電容下電極結構,設於電容溝渠內,包括一第一下電極及一第
二下電極,其中第一下電極環繞著第二下電極,且第一下電極直接接觸導電區域
;一導電支撐底座,位於電容溝渠內,固定並電連接第一下電極及第二下電極的
底部;一電容介電層,順形的設置在第一下電極、第二下電極及導電支撐底座的
表面上;以及一電容上電極,設置在電容介電層上。
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