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公告本公司取得美國專利局核發US 9864363專利

1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:

製程控制方法與製程控制系統

2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:107/01/09

3.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$ 210,926

4.其他應敘明事項:

一種製程控制方法,適用於對批次的多個晶圓進行沉積製程,包括:根據機

台的歷史資訊與批次的產品資訊來決定批次的晶圓的擺放位置;根據批次的

晶圓的擺放位置與機台的歷史資訊來求出各擺放位置的目標值;根據機台的

歷史資訊、批次的產品資訊以及各擺放位置的目標值來求出製程參數;以及

根據批次的晶圓的擺放位置與製程參數進行沉積製程。

<摘錄公開資訊觀測站>

2018/5/4【本公司收到臺灣新竹地方法院107年度全字第30號定暫時狀態假處分
2018/4/19【公告補充本公司107年股東常會各項議案參考資料
2018/3/30【公告本公司取得美國專利局核發US 9899436專利
2018/3/29【公告本公司取得美國專利局核發US 9864363專利】
2018/3/29【公告本公司取得中華人民共和國國家知識產權局核發 CN 2838455專
2018/3/29【公告本公司取得中華人民共和國國家知識產權局核發 CN 2751325專
2018/3/29【公告本公司取得中華人民共和國國家知識產權局核發 CN 2806007專
2018/3/29【公告本公司取得日本專利局核發JP 6259889專利
2018/3/29【公告本公司取得美國專利局核發US 9842870專利
2018/3/29【公告本公司取得美國專利局核發US 9865327專利
2018/3/29【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I615854專利
2018/3/29【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I615957專利
2018/3/29【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I615979專利
2018/3/29【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I615189專利
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