1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:
具有奈米腔的集成生物感測器及其製作方法
2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:107/01/12
3.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$ 107,823
4.其他應敘明事項:
一種生物感測器,包含有一基底,其上設有一光感測區。在基底上設有一第一介
電層、一擴散阻擋層、一第二介電層。第二介電層中設有一溝槽凹陷結構,其內
設有一濾光材料層,被一上蓋層封蓋住。上蓋層上設有一第一鈍化層以及一奈米
腔結構層,其中於奈米腔結構層中,設有一奈米腔。於奈米腔的側壁及底部設有
一第二鈍化層。
<摘錄公開資訊觀測站>