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1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:

偵測微影熱點的方法

2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:106/11/24

3.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$ 65,482

4.其他應敘明事項:

本發明提出了一種偵測微影熱點的方法，其步驟包含：接收一佈局圖形資料，對

該佈局圖形資料進行空間影像模擬以析取出多種空間影像強度指數，根據一或多

種該些空間影像強度指數的組合產生出多種空間影像偵測子，再根據該些空間影

像偵測子的數值來判定出所對應的微影熱點位置與種類。

<摘錄公開資訊觀測站>

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