1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:
化學機械研磨之固定環
2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:106/10/21
3.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$ 54,250
4.其他應敘明事項:
本發明係關於一種用於化學機械研磨之固定環,其取代修整器,該固定環包含一
環形件,其具有一底表面,以與一研磨墊接觸,該底表面包含至少一通道以及至
少一凸紋區域,該至少一凸紋區域位於相鄰該至少一通道之間。該環形件更包含
複數個磨料微粒,配置於該至少一凸紋區域上。
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