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1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:偵測微影熱點的方法2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:106/11/243.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$ 65,4824.其他應敘明事項:本發明提出了一種偵測微影熱點的方法，其步驟包含：接收一佈局圖形資料，對該佈局圖形資料進行空間影像模擬以析取出多種空間影像強度指數，根據一或多種該些空間影像強度指數的組合產生出多種空間影像偵測子，再根據該些空間影像偵測子的數值來判定出所對應的微影熱點位置與種類。<摘錄公開資訊觀測站>

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