公告本公司取得中華人民共和國國家知識產權局核發 CN 2991269專利
1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:
可進行在線疊對精度監測的測試元結構
2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:107/07/06
3.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$ 64,420
4.其他應敘明事項:
一種測試元結構,包含有一半導體基底,其上具有一晶片電路區域以及一非晶片電
路區域;一接地面,設於該非晶片電路區域內;至少一接觸插塞,設於該接地面上
,並耦接至該接地面;以及至少一對測試線,設於該接觸插塞上,使該接觸插塞位
於該對測試線之間。
<摘錄公開資訊觀測站>