公告本公司取得中華人民共和國國家知識產權局核發 CN 3048395專利
1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:
快閃記憶體的製作方法
2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:107/08/24
3.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$ 62,445
4.其他應敘明事項:
本發明提供一種快閃記憶體的製作方法,特別採用等向性蝕刻的方式移除介電層,
製作方法包含首先提供一鰭狀結構,鰭狀結構包含一浮置閘極材料層、一氧化層和
一半導體層,一絕緣層設置於鰭狀結構之兩側,然後形成一介電層順應地覆蓋浮置
閘極材料層以及絕緣層,之後形成一圖案化第一遮罩層、一圖案化第二遮罩層、一
控制閘極由上至下依序堆疊於介電層上,並且控制閘極橫跨至少一個鰭狀結構,接
著進行至少一次的一第一等向性蝕刻步驟,以浮置閘極材料層和?緣層作為蝕刻停
止層,等向性移除曝露的介電層,直至介電層被完全移除。
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