未上市  

公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I555082專利

1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:

圖案化方法

2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:105/10/21

3.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本: NT$ 55,200

4.其他應敘明事項:

一種圖案化方法。提供材料層。於材料層上形成依序包括第一罩幕層與第一光阻層的

多個罩幕結構。於材料層上共形地形成覆蓋罩幕結構的第二罩幕層。於罩幕結構間形

成第一犧牲層。移除部份第二罩幕層而暴露第一光阻層，以於罩幕結構間形成第一U

型罩幕層。移除第一光阻層與第一犧牲層。於材料層上共形地形成具有第一表面與低

於第一表面的第二表面的第三罩幕層。於第三罩幕層的第二表面上形成第二犧牲層。

移除部份第三罩幕層而暴露第一U型罩幕層的突出部，以形成第二U型罩幕層。以第二

U型罩幕層的突出部為罩幕，對材料層圖案化。

<摘錄公開資訊觀測站>

2016/12/30【公告本公司取得中華人民共和國國家知識產權局核發 CN 2298048專】
2016/12/30【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I559456專利】
2016/12/30【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I555066專利】
2016/12/30【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I555082專利】
2016/12/30【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I555179專利】
2016/12/30【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I559424專利】
2016/12/30【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I555112專利】
2016/12/30【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I559114專利】
2016/12/30【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I559586專利】
2016/12/30【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I559455專利】
2016/12/30【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I559370專利】
2016/12/30【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I559308專利】
2016/12/30【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I559009專利】
2016/12/30【公告本公司取得經濟部智慧財產局核發TW I555246專利】