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1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:

偵測微影熱點的方法

2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:105/11/29

3.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本: NT$ 203,353

4.其他應敘明事項:

本發明提出了一種偵測微影熱點的方法，其步驟包含：接收一佈局圖形資料，對該

佈局圖形資料進行空間影像模擬以析取出多種空間影像強度指數，根據一或多種該

些空間影像強度指數的組合產生出多種空間影像偵測子，再根據該些空間影像偵測

子的數值來判定出所對應的微影熱點位置與種類。

<摘錄公開資訊觀測站>

2016/12/29【公告本公司取得美國專利局核發US 9484341專利】
2016/12/29【公告本公司取得美國專利局核發US 9496418專利】
2016/12/29【公告本公司取得美國專利局核發US 9502969專利】
2016/12/29【公告本公司取得美國專利局核發US 9508138專利】
2016/12/29【公告本公司取得美國專利局核發US 9478552專利】
2016/12/29【公告本公司取得美國專利局核發US 9466522專利】
2016/12/29【公告本公司取得美國專利局核發US 9478741專利】
2016/12/29【公告本公司取得美國專利局核發US 9437600專利】
2016/12/29【公告本公司取得美國專利局核發US 9466605專利】
2016/12/29【公告本公司取得美國專利局核發US 9424934專利】
2016/12/29【公告本公司取得美國專利局核發US 9461156專利】
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