1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:
非揮發性記憶體及其製造方法
2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:104/11/01
3.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$84,600
4.其他應敘明事項:
本發明提出一種非揮發性記憶體具有穿隧介電層、浮置閘極、控制閘極、閘間介
電層、第一摻雜區與第二摻雜區。穿隧介電層配置於基底上。浮置閘極配置於穿
隧介電層上,且浮置閘極具有凸出部。控制閘極配置於浮置閘極上方,並覆蓋、
環繞凸出部。其中,浮置閘極的凸出部無論從任何方向(例如位元線或字元線方向
或位元線及字元線間所夾任何角度的方向)皆被控制閘極完全包覆、環繞在裡面。
閘間介電層配置於浮置閘極與控制閘極之間。第一摻雜區與第二摻雜區分別配置
於控制閘極二側的基底中。
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