未上市  

1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:

光阻回收系統及其方法

2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:105/09/01

3.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$ 59,200

4.其他應敘明事項:

一種光阻回收系統，包括：儲存瓶，用以存放光阻液，且儲存瓶具有瓶蓋，在瓶

蓋上設有第一接頭、第二接頭與第三接頭；加壓裝置，與第一接頭連接；排出管

路，與瓶蓋的第二接頭連接；第一切換裝置，設置於排出管路上；第二切換裝置

，設置於儲存瓶與第一切換裝置之間的排出管路上；回收管路，連接第三接頭以

及在第一切換裝置與第二切換裝置之間的排出管路；以及第三切換裝置，設置於

回收管路上。

<摘錄公開資訊觀測站>