1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:
圖案形成方法
2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:105/04/21
3.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$41,200
4.其他應敘明事項:
一種圖案形成方法,包括下列步驟。提供晶圓,晶圓包括多個晶圓內部晶粒與多
個晶圓邊緣晶粒。在各晶圓內部晶粒上形成第一圖案,且在各晶圓邊緣晶粒上形
成第二圖案,其中第一圖案的形成方法包括進行至少兩次曝光製程,第二圖案的
形成方法包括進行上述至少兩次曝光製程中的至少一次,且形成第二圖案所進行
的曝光製程次數少於形成第一圖案所進行的曝光製程次數。
<摘錄公開資訊觀測站>