新應材公司日前在「台灣平面顯示器材與元件產業協會(TDMDA)
」會員聯誼暨與面板業者交流會中 ,展示「大型基板用TFT-LCD
光阻劑」研發成果, 分享主導性新產品開發心得。
新應材表示,隨著TFT-LCD面板大型化,勢必要面對曝光特性時產
生效益的問題,因此光阻劑也會被要求更高感度,加上尺寸變大
後,容易因基板翹曲,使的烘烤處理困難,連帶影響膜厚、尺寸
均一性、濕式蝕刻時的密著性、耐乾式蝕刻性降低等問題;再者
,為降低溫度依存性,低溫烘烤的光阻劑實有開發的必要性。
新應材「大型基板用TFT-LCD光阻劑」計畫主持人郭光埌博士表
示,光阻材料開發及量產技術是電子及光電產業的基礎。大尺寸
基板光阻未來塗佈所面臨的主要重點在於:維持或增加基板的生
產率(Throughput)、維持光阻塗佈的均勻度。該計畫執行獲得
結論,成功突破過去由美國、日本寡占的市場;第一次由國內廠
商自行研發並可適用於大型世代的TFT-LCD正型光阻劑,亦有實
際量產實績;掌握正型光阻劑的核心開發技術,未來可朝向半導
體領域發展。
新應材於2003年9月成立,短短六年間取得國內大廠訂單,分別穩
定供應瀚宇彩晶、統寶光電、元太科技等大廠光阻,本著深耕本
土企業的理念,以合理的價格、穩定的品質及優質的服務,提供
面板產業中不可或缺的關鍵上游材料(光阻劑及相關化學品)。
<摘錄經濟>