台特化董事長徐秀蘭表示,矽乙烷用於化學氣相沉積製程,為半導 體產業進入先進製程時代的關鍵矽基化合物薄膜的關鍵性材料,目前 已建立全球矽乙烷最大產能單一生產線。下半年營運持穩推進,毛利 率可望維持40%∼50%高水準,全年營收續創新高。
台特化總經理張雄飛強調,今年開發出新產品無水氟化氫,為先進 半導體製程中非常重要的乾式蝕刻與清潔特氣原料,主應用於晶圓沉 積薄膜蝕刻與機台設備內矽類殘留晶體的清潔移除,可應用於更先進 製程,目前已送交客戶認證,預計明年首季開始貢獻營收。
台特化聚焦半導體特殊氣體及特用化學材料製造與銷售,自主研發 高端的關鍵特殊氣體材料合成純化製造技術已建立特氣產製技術專業 Know-How,並取得台灣、大陸、美國、韓國新型及發明專利。截至6 月底止,實收資本額13.82億元。
徐秀蘭指出,台灣是全球重要先進半導體生產基地,公司獨創超高 純度特殊氣體合成純化技術可同時產出矽乙烷、矽丙烷;製程水電用 量相對其他競爭者降低70%以上能耗,且無固態廢棄物產生,超前建 構碳中和之國際競爭力。 <摘錄工商>